激光共聚焦显微镜在OLED面板行业的应用

OLED显示技术即有机发光二极管，采用非常薄的有机涂层材料和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。因此，OLED屏幕可以做的更加轻薄，可视角度更大，并且能够显著节省耗电量。

OLED 与LCD 有着本质上的区别，主要通过电场驱动有机半导体材料和发光材料通过过载流子注入和复合后实现发光。从本质上来说，就是通过ITO玻璃透明电极作为器件阳极，金属电极作为阴极，通过电源驱动，将电子从阴极传输到电子传输层，空穴从阳极注入到空穴传输层，之后分迁移到发光层，二者相遇后产生激子，让发光分子激发，经过辐射后产生光源。

NS3500激光共聚焦显微镜简介

NS3500激光共聚焦显微镜广泛地用于OLED行业，为了满足测量的精度和测量范围NS3500激光共聚焦显微镜不但可以支持非接触测量，高精度测量，高分辨率，而且可以提供大范围拼接能力。

相比较于普通的探针扫描仪，激光共聚焦显微镜有着更高的分辨率和测量精度。NS3500激光共聚焦显微镜采用的是针孔 成像技术，可以隔绝焦点外所有的信号，从而大大提高了图像的分辨率，通过垂直移动物镜，采用类似断层扫面的方法，可以在短短几秒钟内获得样品的所有三维数据。因此根本不需要接触样品的表面。在进行测量之前也不需要对样品进行预先处理，直接放到X,Y Stage上就可以进行测量，也不会损伤到样品的表面。

NS3500激光共聚焦显微镜在OLED行业的应用案例

案例一

OLED显示技术具有明显的优势，OLED屏幕厚度可以控制在1mm以内，而LCD屏幕厚度通常在3mm左右，并且重量更加轻盈。激光共聚焦显微镜可以测量OLED屏幕上的污染物，划痕进行无损伤检测，有助于对产品的质量把控。

案例二.

OLED面板上MLA（微透镜阵列）的检测

微透镜阵列作为一类重要的微光学器件，具有许多*的光学性纸，通过调整形状、焦距、排布、占空比等参数可以对入射光束进行扩散、整形。均匀、聚焦、成像等调制，实现特定的功能。

微透镜的排列方式根据基底形式和有效占空比的需要可以有很多种，这里主要介绍正交排列和蜂窝排列。如下图所示，微透镜有效占空比，是指微透镜所占面积与其整个阵列面积之比。正交排列的微透镜阵列的占空比K可以表示为

利用激光共聚焦显微镜可以有效对微透镜阵列的深度、排布、占空比进行检测，有助于提高产品质量的把控。

结论

本文借助NS3500激光共聚焦显微镜对OLED制作流程中不同工序处理后地样板进行测量研究，得到较好地表面形貌数据。激光共聚焦显微镜具备分辨率高，精度高，检测速度快，无损等特点， 可以快速获得样品表面的三维信息。随着OLED 工艺质量的提高，3D激光共聚焦显微镜必将成为OLED未来的主流。