激光三维表面轮廓仪重复性、准确性和再现性都很出色
更新时间:2022-07-11 点击次数:1185
激光三维表面轮廓仪对材料表面三维轮廓测量、粗糙度测量、宽度、高度、角度、半径、粗糙度等二维及三维数据分析,无需拼接即可直接测量大面积样品。利用光的干涉,可以快速、准确、高度检测1nm~10mm高度模型的曲面想象。与接触方式相比,不会对被测物造成任何损坏。与共焦模式相比,高分辨率的力无关放大倍率可以得到统一的结果。与AFM相比,它可以在广泛的测量领域中快速测量。
激光三维表面轮廓仪中央组件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以与不同的传感器(z方向测量)一起使用。目前主要配置是连接CF4激光共焦传感器。在CF4激光共焦传感器中,被照射的孔在被测表面上成像,激光束通过物镜快速上下移动,聚焦到被测物体上。只有当焦平面与真实表面上的点配对时,探测器才会记录表面信号。因此,物镜必须移动一个小的垂直步距,以便通过位移传感器的位置移动来测量信号。根据特殊的插值技术,系统的精度可以达到10nm以下。
1、高分辨率0.1nm。
2、在任何放大倍率下,分辨率都是统一的。
3、测量纳米级。
4、测量高速、高精度、高分辨率的性能图像。
5、可测量透明/半透明/不透明样品。
6、无需无损,可轻松测量预处理程序。
6、出色的重复性、准确性和再现性。
激光三维表面轮廓仪集图像采集、图像处理和网络通讯于一体。它使用超高速处理器来收集和处理数字信号。内置高动态范围CMOS传感器,可准确识别具有明暗差异的物体。它采用405nm蓝色激光,大大提高了测量精度,配备一套图形化软件开发平台和多种常用检测流程包,大大降低了客户的使用门槛。