激光三维表面轮廓仪是一种用于各种精密器件和材料表面亚纳米测量的测试仪器,基于白光干涉技术原理,结合精密Z向扫描模块和3D建模算法,对器件表面进行非接触式扫描,建立表面3D图像,通过对器件表面3D图像进行处理和分析。系统软件,获取反映器件表面质量的2D和3D参数,实现器件表面形貌的3D测量,可广泛应用于半导体制造与封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳米材料与制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业,以及航空航天、国防以及军工、科研院所等领域。可测量从超光滑到粗糙,低反射率到高反射率,从纳米到微米的各种工件表面的粗糙度、平面度、微观几何轮廓、曲率等。
1、具有3D轮廓重建和各类样品表面微观形貌测量功能;
2、具有表面粗糙度和微观轮廓检测功能,粗糙度范围从0.1nm到几十微米;
3、具有校平、去形、去噪、滤波等数据处理功能;
4、具有粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
5、自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动功能;
6、具有一键分析、多文件分析等快速批量分析功能。
激光三维表面轮廓仪3D激光扫描头可以在任何类型的物体表面采集数百万个精确点数据,从哑光黑色表面到高反射表面,甚至碳纤维表面,无需任何特殊预处理。是一种先进的、应用广泛的非接触式3D激光扫描核心设备。具有适用性广、扫描范围大、精度高、速度快、性价比高等特点。
在CF4激光共焦传感器中,被照亮的小孔在被测表面上成像。激光束通过物镜快速上下移动并聚焦在被测物体上。只有当焦平面与真实表面上的点配对时,探测器才会记录表面信号。因此,物镜必须移动一个小的垂直步长,以便通过位移传感器的位置移动来测量信号。根据特殊的插值技术,系统精度可达10纳米以下。
激光三维表面轮廓仪的应用:
1、集成电路封装和表面贴装:快速获取封装翘曲、引线共面度、粗糙度、焊锡量和引线轮廓。
2、厚膜混合电路:自动测量膜厚。
3、精密零件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓和粗糙度。